pvd真空镀膜时为什么罗茨泵和机械泵一起使用? 和分子泵先后顺序?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/01 08:34:05

pvd真空镀膜时为什么罗茨泵和机械泵一起使用? 和分子泵先后顺序?
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pvd真空镀膜时为什么罗茨泵和机械泵一起使用? 和分子泵先后顺序?
机械泵起动,真空度到达起动启动罗茨泵,分子泵由维持泵维持分子泵真空度,当容器真空度到达打开分子泵的精抽阀.